Modélisation d’un accéléromètre MEMS


Le texte de l'article publié BUP n°920 p3-24 janvier 2010.


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Netographie  

[B] Sujet de Physique-Chimie de la session 2009 du Baccalauréat série S, exercice 3 [A]

[1] Equipementier BOSCH  http://rb-k.bosch.de/en/safety_comfort/occupant_protection/index.html  

Voir en particulier le menu détaillé développable à gauche de l'écran.

Description des composants   http://www.semiconductors.bosch.de/en/20/sensors/accel.asp

Photothèques et articles pour la presse http://www.bosch-presse.de/TBWebDB/en-US/index.cfm

Le site français  http://rb-kwin.bosch.com/fr-FR/start/safety.html n’est pas aussi complet.

► Vidéo du crash test [A]

[2] ► La sécurité passive (doc LPR La briquerie Thionville) [A]

 http://www.ac-nancy-metz.fr/enseign/autocompetences/2_ressources_pedagogiques/6_confort_et.../securite_airbags-ceintures.pdf

[3] Introduction à l’airbag  [A]   http://defis.cea.fr/defis/118/CEA_DEFIS118_P16_17.pdf    

Dans le BUPPC : [4] , [5] , [6] et [7]   http://udppc.asso.fr/bupdoc/consultation/selections.php     mot-clé : airbag  ou manette

[4] Un modèle simplifié de crash-test par O. Vallée,  

[5] Les nouveaux airbags  par A. Mathis (ce dernier sera mis en ligne fin 2009 : BUP n° 869  p 1745  12/2004),  

[6] Utilisation d’une manette de jeu vidéo pour des expériences de mécanique par FX Inglèse et D. Rousseau,   

[7] Des souris et des profs…  par Thibaut Plisson BUP n° 914  p 599  05/2009

[8] Le site du fabriquant Analog Devices : http://www.analog.com  Utiliser un moteur de recherche avec les mots-clés  adxl103 + data

► Feuilles de données de ADXL103   ADXL78  [A]  

[9] Deux sites sur la wii     http://wiibrew.org/wiki/Wiimote   et   http://www.wiili.org/index.php/Motion_analysis   

[10] Revue Science & Vie Micro  SVM 11/2008 p74   et site du fabriquant  http://www.gyration.com/?l=fr#productOverview/miceKeyboards

[11] Site du fabriquant de « Hot hand »  http://www.sourceaudio.net/ ; Vidéos de démonstration ►archive de la vidéo [A]    www.youtube.com/watch?v=JbYsD7cX9E0 ou www.youtube.com/watch?v=gpCl7xRjZcs

Article de News electronics on Campus [A] (summer 2008) extrait d’un document de promotion distribué gratuitement. 

[12] Présentation des MEMS  http://www.esiee.fr/~francaio/intromems/intromems.html  Une présentation introductive est disponible ainsi que de nombreux documents et un portail thématique complet.

[13] Note de prospective : accelerometer   http://www.semiconductors.bosch.de/pdf/prospekt_SMB05x_06x_100.pdf

[14] Equipementier : AUTOLIV  http://www.autoliv.com/wps/wcm/connect/autoliv/Home/What+We+Do

[15] Exemple de prix (06/2009) : MMA7341L / 3 axis- 2g à 6€/pc  ou ADXL278 / 2 axis-50g à 25€/pc,  chez  http://fr.farnell.com. Attention : pour une expérimentation simplifiée, a priori choisir un composant à sorties analogiques. Les utilisateurs de micro-contrôleur préfèreront un interfaçage numérique type MMA7456L / 3 axis-low g à 7€/pc. Ou encore ADXL202AE / 2 axis-2g à 20€/pc chez  http://radiospares-fr.rs-online.com

Evidemment les prix baissent par quantité : sur le site AD, les composants les plus récents sont environ à 2.1 €/pc par lot de 1000 … ADXL103 est encore disponible au prix de 5.5 € pc mais par 1000 pièces.

En résumé, critères de choix : type de sortie, nombre d’axes, étendue de mesure, sensibilité, prix à l’unité.

[16] Actualité  http://www.edn.com/article/CA6666239.html

[17] ► Protection des têtes de lecture de disques durs : note technique ADXL320  [A]  http://www.analog.com/en/mems/high-g-accelerometers/products/technical-articles/resources/index.html

[18] ► Integrated MEMS sensors for industrial control. [A]  Une courte synthèse introductive

http://www.analog.com/static/imported-files/tech_articles/EPNJan07iSensor.pdf

[19] ► Vout_solution_exacte.pdf    [A]


Bibliographie

Voir aussi les compte-rendus de lecture des ouvrages de la bibliographie.

[L1] Handbook of modern sensors   par J. Fraden  (Springer-Verlag 2004). Voir le §13.2 pour les capteurs capacitifs, en particulier celui d’humidité. Le chapitre 18 est consacré aux matériaux des capteurs, le §18.3 décrit plus précisément les technologie de fabrication des MEMS. De façon plus générale, ce livre est une référence pour la connaissance des capteurs, surtout s’ils sont récents.

[L2] Capteurs : principes et utilisations   par F. Baudouin et M. Lavabre   (Casteilla 2007). Voir en particulier le §4.4 sur les capteurs d’accélération. Un livre concret et complet au niveau d’un premier cycle supérieur.

[L3] Acquisition de données ; du capteur à l’ordinateur   par G. Asch & collaborateurs (Dunod 1999). Voir le §9.4 pour le conditionnement d’un pont capacitif et la démodulation synchrone. Globalement ce livre propose une approche assez complète de l’électronique de mesure, tout en restant accessible.

[L4] Microsystèmes opto-électromécaniques MOEMS par P. Viktorovitch (Hermès - Collection Traité EGEM – 2003) Un ouvrage spécialisé dont le sujet est parallèle, consacré aux micro-systèmes pour l’optique. Il n’y a pas encore, à ma connaissance, d’ouvrage spécifiquement consacré aux MEMS dans cette collection.

[L5] Introductory MEMS, fabrication and applications   par Adams, Thomas et Layton, Richard  (Springer - 2010)  Un ouvrage d'introduction (L3-M1?) assez complet et synthétique

Les compte-rendus de lecture de ces cinq ouvrages sont disponibles sur le site du BUPPC :

http://www.udppc.asso.fr/nal/index-nal.php







Handbook of modern sensors Physics, designs and applications par Fraden, J.
Éditeur : Springer - 2004 - 588 pages - 94.95 € - ISSN/ISBN : 0.387.00750.4.
Public visé : phycisien, expérimentateur
Tout physicien est concerné par la mesure et donc par les capteurs susceptibles de pouvoir convertir telle grandeur physique d'intérêt en signal exploitable. Le livre de référence en français est « Les capteurs en instrumentation industrielle » de G. Asch (Dunod 1998 présenté dans le Bup 815 et sur notre site).
« Handbook of modern sensors » est une autre importante référence complémentaire qui globalement propose un programme similaire à son lecteur mais avec des particularités tout à fait intéressantes.
La structure générale du livre est donc aussi de deux parties mais avec une « cerise sur le gâteau » (si j'ose dire).
Les cinq premiers chapitres (et 225 pages) forment donc une première partie ayant un caractère de généralité sur la mesure. Nécessaire dans ce genre de livre, elle propose une introduction à la mesure et à l'acquisition du signal (Ch1). Classiquement on y étudie les caractéristiques métrologiques des capteurs (Ch2) indispensables pour pouvoir en évaluer les performances physiques et métrologiques. On y trouve aussi un long chapitre sur le conditionnement électronique du signal issu du capteur sans lequel celui serait fort souvent tout simplement inutilisable (Ch5) ; on y remarquera les quelques pages sur le « bruit ». On y trouve surtout une présentation synthétique et somme toute suffisamment élémentaire pour être très lisible des principes physiques régissant le fonctionnement des capteurs (Ch3) ainsi qu'une originale présentation des principes et des composants optiques intervenant dans les capteurs (Ch4) comme la photométrie et la radiométrie, les fibres, fentes, miroirs et autres modulateurs diverses.
Les douze chapitres suivants (sur 300pages) composent un vaste et diverse panorama de toute la « zoologie » des capteurs, y compris des systèmes très récents ou à peine sortie du laboratoire de recherche.
Comme pour « le Asch », les domaines traités sont la mécanique ( présence, position, déplacement, vitesse, accélération, force, déformation), la mécanique des fluides ( pression, débit, niveau, acoustique ), optique et rayonnements nucléaires, thermodynamique ( température, humidité), chimie.
Chacun des domaines retenus propose un choix représentatif de systèmes récents et performants dûment décrits par des figures claires, un texte explicatif, des éléments de modélisation physique, des schéma de mise en œuvre, des exemples de réalisations industrielles... avec suffisamment de pertinence pour faciliter une recherche de marque sur l'Internet.
Par exemple comme capteur de position, outre les classiques systèmes potentiométriques et capacitif, il est proposé des variantes modernes de capteurs à bulles (capacitif ou optoélectronique), des LVDT (Linear Variable Differential Transformer) liés au déplacement de leur noyaux magnétiques, des capteurs inductifs, à effet Hall ou encore à magnétorésistance, des capteurs optiques (détecteur à quatre quadrants, à lumière polarisée, à fibre, à interféromètre Fabry-Perot, à réseau ou encore à PSD, sans oublier des solutions à sonar ou radar. On aura ainsi compris que l'on « balaie large », de l'élémentaire au plus pointu, du plus simple au plus coûteux.
Comme annoncé plus haut, on notera à la fin du livre un original et instructif chapitre de synthèse sur les matériaux utilisés dans les capteurs (silicium, plastique, métaux, céramiques et verres) et leurs technologies de mise en œuvre (film, dépôts, moulage...) ; ainsi que quelques pages sur les nanotechnologies.
On y trouvera aussi 22 pages d'un choix judicieux de tables diverses en Appendices sans lesquelles un Handbook ne saurait être complet et qui manquent d'ailleurs dans « le Asch » : unités, constantes diélectriques, magnétiques, densité, dilatation, thermocouples etc. Et l'inévitable et indispensable index.
Ce livre sera un usuel pour le physicien spécialisé dans la mesure. Il complétera heureusement une bibliothèque de laboratoire proposant déjà les références « basiques » du sujet (en français) comme « le Asch » (et deux ou trois autres de la même collection).

Lecteur : VELAY, Bruno



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Capteurs : principes et utilisations cours et exercices résolus par Baudouin, Fabrice et Lavabre, Michel
Éditeur : Casteilla - 2007 - 457 pages - 35 € - ISSN/ISBN : 978.2.7135.2749.4.
Public visé : DUT, BTS et écoles d'ingénieur
Enseignant en DUT Mesures physiques, je prête évidemment une attention toute particulière aux nouvelles (et rares) publications concernant l'instrumentation, surtout si elles ne sont pas destinées à un lectorat trop spécialisé. Ainsi, ce livre est destiné tout particulièrement aux BTS/DUT mais concernera aussi le professeur de physique, surtout s'il enseigne en MPI (Mesures physiques et informatique).
Nourris de leur expérience pédagogique, ses deux auteurs nous livrent un vaste panorama de la physique des capteurs et de leurs utilisations.
Lorsque l'on instrumente un process, qu'il intervienne dans un projet pédagogique ou industriel, on désire par une succession de mesures, suivre l'évolution d'une grandeur physique. On doit donc faire un choix parmi les multiples solutions : faire le tri parmi les différentes familles de capteurs existant, parmi les différentes solutions associées pour le conditionnement électronique du signal et du post-traitement numérique éventuel. Bref, faire le choix d'un « dispositif utile et adapté » parmi les différentes solutions industrielles disponibles (sans en négliger bien sûr le prix).
Dans ce but de faciliter ce choix, les auteurs adoptent un plan classique pour ce type de livre, qui consiste après un chapitre introductif de généralités indispensables (nature du capteur passif ou actif, problèmes généraux de la mesure, solutions usuelles de conditionnement du signal par type de signal issu du capteur, conversion analogique/numérique et réciproque) à aborder successivement les familles de capteurs en les classant sur la base des grandeurs physiques suivies, à savoir température/humidité, longueurs et déplacements, forces et accélérations, grandeurs magnétiques, vitesses et positions, débits et niveaux, capteurs optiques.
Chacun des chapitres propose pour les grandeurs concernées une introduction à la situation, une description des principales familles de capteurs, incluant le plus souvent (lors que le niveau de l'ouvrage le permet) une modélisation physique de leur fonctionnement, leurs conditions de mise en œuvre en particulier les conditionnements conseillés, des critères de choix liés à leurs spécificités, des exemples caractéristiques de réalisations, ainsi qu'un extrait des feuilles originales de données (il est aisé de les compléter par une recherche ciblée sur l'Internet). Quelques exercices avec leur correction complètent chaque chapitre.
Selon les sujets, les auteurs détaillent plus avant tel aspect caractéristique, ainsi la présentation des jauges de contraintes inclut une série de photographies détaillant leur mise en œuvre par collage.
Les figures sont de qualité et souvent originales, un certain nombre est issu de simulations numériques. Diverses photographies, parfois annotées, décrivent les capteurs étudiés ou bien les montrent en situation.
Le texte est tout à fait lisible et abordable même si certaines modélisations nécessitent bien sûr une maîtrise minimale du domaine scientifique traité, mais au niveau BTS/IUT.
Le spécialiste remarquera l'usage fréquent (pour ne pas dire unique) d'ampli opérationnel dans les schémas de conditionneurs proposé en exercices, certainement en rapport avec les programmes d'électroniques de ces classes.
Ce livre pourrait figurer sans démériter dans toutes les bibliothèques de laboratoire au lycée. Il sera aussi très utile aux personnes s'entraînant en vue d'une épreuve pratique des concours d'enseignement, où la mesure a une place privilégiée.


Lecteur : VELAY, Bruno  - Paru dans Le Bup n° 899 (1)


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Acquisition de données : du capteur à l'ordinateur par Asch, G.

Éditeur : Dunod - Collection Electronique appliquée - 1999 - 478 pages - 330 - ISSN/ISBN : .
Public visé : Utilisateurs de chaînes d'acquisition de mesure (1er cycle et +)
Bien connu pour son livre de référence sur les capteurs en instrumentation industrielle, G. Ash et ses quatre collaborateurs nous donne ici un ouvrage qui lui aussi fera son chemin et sera rapidement connu.
L'ouvrage reprend le programme de son fameux précurseur dans la défunte collection Meures Physiques " Electronique des systèmes de mesures " et " systèmes de mesures informatisés " de Tran Tien L. (Masson) mais il développe de façon plus systématique et poussée les deux aspects fondamentaux, et parfois délicat, que sont les effets perturbateurs et le bruit, ainsi que les caractéristiques métrologiques des différents éléments de la chaîne de mesure.
Après un chapitre introductif décrivant la chaîne d'acquisition de mesure, le livre s'organise en trois parties informelles qui s'interpénètrent tout au long de l'ouvrage.
La première est consacrée aux différents éléments de la chaîne et présente sous la forme de courts chapitres synthétiques et bien ciblés ce qu'il faut savoir sur les capteurs, les conditionneurs, les amplificateurs, les filtres, les multiplexeurs, les échantillonneur-bloqueurs et les convertisseurs. L'information est à jour et met bien en évidence les méthodes les plus utilisées en les analysant, en particulier en précisant le sens des principales spécifications que l'on trouve dans les notices, par exemple celles sur les sources d'erreur. Mis à part quelques exemples significatifs, l'exposé n'est pas basé sur des composants particuliers susceptibles de rendre rapidement l'ouvrage obsolète.
La seconde traite de l'organisation d'une chaîne " moderne " standard d'acquisition exploitant l'ordinateur. C'est un domaine qui a beaucoup évolué ces dernières années, et il était bon de faire le point. Plusieurs chapitres abordent ainsi le microprocesseur, la gestion matérielle de la chaîne, le principe des algorithmes d'acquisition, la transmission de données, l'architecture de l'ordinateur. On notera le dernier chapitre consacré à l'acquisition sur PC, rédigé par P. Renard, directeur de la communication de National Instrument qui est le leader dans ce domaine, en particulier avec ses instruments " virtuels " conçu sous leur logiciel LabVIEW. Et c'est effectivement ainsi que l'on travaille maintenant en commandant des cartes d'acquisition via une interface graphique.
La troisième, par laquelle le livre débute, étudie de façon minutieuse les parasites et le bruit, ainsi que les différents types de couplages (galvanique, magnétique, électrique, électromagnétique), leurs causes, leurs influences et les manières de s'en affranchir au mieux. C'est certainement une partie qui sera très utile au plus grand nombre.
Un dernier aspect caractéristique et innovant de ce livre est son approche de la gestion métrologique de la chaîne de mesure au travers d'une part de l'analyse des spécifications fines des sources d'erreurs des différents maillon de la chaîne, d'autre part de la gestion du " budget " des incertitudes qui permet de concevoir un système de précision globale définie. Si les efforts faits pour éclairer cet aspect souvent camouflé dans un " flou " fort peu artistique sont les bienvenus, je regrette le choix pragmatique fait de suivre uniquement la formulation industrielle des paramètres métrologiques qui ne respecte pas encore précisément la forme et la lettre de la norme concernant l'évaluation des incertitudes-type. Il faut bien voir que la maîtrise des caractéristiques métrologiques est au cœur de la démarche qualité qu'un nombre croissant d'utilisateurs professionnels cherche à mettre en œuvre.
Ce livre est un livre de base pour l'expérimentateur que je conseille vivement et qui figurera rapidement dans toute bonne bibliothèque de laboratoire.

Lecteur : VELAY, Bruno  - Paru dans Le Bup n° 817


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Microsystèmes opto-électromécaniques MOEMS par Viktorovitch, P.

Éditeur : Hermès - Collection Traité EGEM - 2003 - 238 pages - 80 E - ISSN/ISBN : 2.7462.0585.8.
Public visé :  master
Suite à l'important essor des télécommunications optiques et de l'optoélectronique par exemple, un très grand nombre de systèmes actuels reposent sur des bases issues de l'électricité, de l'optique et de l'électronique ; d'où l'intérêt de disposer d'une présentation d'ensemble des connaissances nécessaires à la maîtrise de ces réalisations pluridisciplinaires. Tel est le but de la nouvelle encyclopédie, publiée par Hermès/Lavoisier sous le nom de « traité Électronique ( Génie Électrique ( Microsystèmes », dont les volumes sont répartis en quatre grandes séries : électronique et micro-électronique, optoélectronique, génie électrique, microsystèmes.
Le livre que nous présentons ci-dessous est le premier tome de la dernière de ces séries ; son contenu, très varié et technique par nature, est donc difficile à résumer ici ( car cet ouvrage est une belle synthèse des données actuelles. Une équipe de 14 spécialistes, dont un coordonnateur, se répartissent selon leur domaine la rédaction des 7 chapitres de ce volume consacré aux microsystèmes opto-électromécaniques (MOEMS), que l'on sait maintenant produire en masse à faible coût.
Pour donner une idée des objets de ce livre, disons seulement qu'il s'agit des composants et microsystèmes optiques qui en plus font intervenir des parties mécaniques, servant de microcapteurs ou permettant des mouvements ou bien des micro-déformations, commandés essentiellement de façon électronique ; par rapport aux composants opto-électroniques classiques, ceux là sont plus lents mais offrent une très large variété de fonctionnalités nouvelles, ayant de multiples applications ( comme l'interconnexion des systèmes de télécommunications optiques, l'optique adaptative en astronomie ou en ophtalmologie, etc. Les MOEMS exploitant les technologies silicium peuvent être compatibles avec les standards CMOS et bénéficier ainsi de la puissance de traitement des circuits VLSI ; il apparaît aussi d'autres MOEMS à semi-conducteurs III-V, permettant de réaliser des micro-filtres FABRY-PEROT, des VCSELs (nouvelles sources pour les télécommunications optiques), etc., tous largement accordables...
Dans l'enseignement, cet ouvrage rendra donc éminemment service aux professeurs de certains IUT ou BTS ou classes techniques ; mais il saura intéresser aussi tous ceux qui veulent suivre un tant soit peu les développements de l'optique moderne.

Lecteur : DETTWILLER, Luc


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Introductory MEMS Fabrication and applications par Adams, Thomas et Layton, Richard
Éditeur : Springer - 2010 - 444 pages - 79 € - ISSN/ISBN : 978.0.387.09510.3.
Public visé : Licence et +
Le présent ouvrage sera une source bibliographique complémentaire de choix à l'article que j'ai proposé récemment dans le BUPPC concernant la modélisation d'un accéléromètre MEMS destiné aux airbags (n°920 p 3 de janvier 2010) et le reproche principal que je lui ferai est de n'être pas paru quelques mois plus tôt !
En effet, comme le montrait la bibliographique de l'article cité, la littérature synthétique et accessible sur les MEMS est pour le moins peut abondante : de ce fait, une introduction méthodique et pédagogique à la conception, la fabrication et les usages des MEMS (pour Micro Electro Mechanical Systems) est la bien venue.
Le livre est issu d'une série de cours spécialisés de niveau L3/M1, me semble-t-il. Cependant de nombreux aspects sont parfaitement abordables à un niveau plus élémentaire (mise à part la question de la langue, comme toujours).
L'ouvrage est essentiellement organisé en deux parties principales traitant d'une part de la fabrication d'autre part des applications.
Les propriétés des matériaux et les procédés employés sont évidemment, si j'ose le dire ainsi, "le labourage et le pâturage" du Génie des Matériaux, inévitablement au coeur de cette première partie.
Après une courte introduction qui aurait pu être placée avant cette partie d'ailleurs, destinée à mettre en avant les principaux avantages de ces micro-systèmes (échelle, coût, performances améliorées...), une étude en quatre points principaux. Tout d'abord une description des matériaux utilisés, pour l'essentiel un substrat silicium recouvert d'un certain nombre de couches minces, ainsi que les principales méthodes associées à ces dépôts (oxydation, dépôt sous vide...). Puis une description d'une méthode "classique" de la micro-électronique destinée à créer et transferrer les "motifs" des schémas à réaliser : la photolithographie qui exploite pour l'essentiel la photosensibilité des matériaux utilisés pour réaliser les couches minces successives du sandwich déposé. Les questions de la propreté à mettre en oeuvre, de la résolution des détails transférés et de l'alignement des masques ne sont pas oubliées. Vient la description des méthodes spécifiques du "micro-usinage" destiné à réaliser les micro-structures des systèmes, essentiellement la gravure chimique ("wet" etching) ou celle par des faisceaux d'ions ("dry" etching). Enfin il est proposé une étude systématique des propriétés mécaniques des matériaux utilisés, en particulier celles concernant les contraintes.
La seconde partie explore les applications et par là même les principales familles de réalisations. Là encore deux chapitres préalables et incontournables, destinés à expliquer ce qu'est la modélisation d'un systéme puis ce qu'est un transducteur et ce que sont ses principales propriétés. Les applications retenues concernent pour l'essentiel des capteurs. Le lecteur attentif remarquera d'ailleur que le premier exemple introductif développé (p 159) est celui... d'un système d'airbag! Il est aussi fait état de micro-actionneurs et bien trop bièvement de systèmes optiques et radiofréquences RF.
Viennent ensuite plusieurs chapitres exposant les transducteurs piezorésistifs (ex : capteur de pression), capacitifs (ex : accéléromètre), piezoélectrique (ex : actionneur à poutre déformable), thermique (ex : actionneur à bras déformable par dilatation). Enfin, une introduction à la microfluidique, déjà très en pointe pour des systèmes utilisés couramment en impression et en analyse chimique.
Dans tous les cas, les systèmes sont décrits en détail par des schémas, des modèles relevant pour l'essentiel des lois de la physique classique habituelle, etc. Des photos en microscopie électronique illustrent la présentation.
L'ouvrage est complété d'une dernière partie décrivant 6 travaux pratiques spécifiques, mais ... nécessitant évidemment un laboratoire de microfabrication. Il dispose d'un index, de 4 appendices techniques et d'un glossaire très détaillé.
Enfin il est à noter que chaque chapitre propose sa bibliographie propre ainsi qu'une série d'exercices non corrigés.
Comme vous l'aurez compris, cet ouvrage "introductif" synthétique sait être assez abordable, tout en étant suffisament spécialisé pour bien être au coeur de son sujet et non rester superficiellement à sa périphérie.
A quand un ouvrage de même nature sur les nanotechnologies ?
PS : j'ai aussi identifié depuis une autre bonne source documentaire et photographique à mon article sur les MEMS et donc à ce livre http://www.mems.sandia.gov/
.
Lecteur : VELAY, Bruno


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